金融界 2025 年 5 月 5 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，ASM IP 私家控股有限公司请求一项名为“用于堆积金属磷化物的办法和体系”的专利，揭露号 CN119913486A，请求日期为 2024 年 10 月。

  专利摘要显现，本揭露触及经过循环堆积进程在衬底上堆积含金属磷化物资料的办法和设备。该办法有在反响室中供给衬底，将金属卤化物前体以气相供给到反响室中；以及将第二前体以气相供给到反响室中，以在衬底上构成含金属磷化物资料。

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